3納米制程

(重定向自3奈米製程

3奈米製程半导体制造制程的一個水準,此技術必須使用EUV進行生產。甚至是高數值孔徑極紫外光。[1]

歷史

國際裝置與系統發展路線圖(IRDS)在2017年曾預計3奈米製程將在2024年量產[2]

2017年9月29日,台積電宣布未來3奈米(nm)製程晶圓廠,落腳台灣台南市南部科學工業園區,預計最快2022年量產[3]台積電於2020年第一季宣布3奈米製程將在2021年試產,並在2022下半年正式量產,其3奈米製程繼續採用FinFET(鰭式場效電晶體)[4]

2019年5月,三星表示其3奈米产品預計于2021年推出[5]。此后由于受到2019冠状病毒病疫情影響,三星的3奈米製程推出時程被延後到了2022年[6]

Intel在2019年洩漏的路線圖顯示,其3奈米製程預計在2025年推出[7]。節點改名的Intel 3預計2024年推出。

2022年7月25日,三星宣布推出首款3奈米製程晶片,採用GAA FET(閘極全環場效電晶體)技術[8]

2023年9月15日,蘋果公司發布新一代iPhone 15系列手機,其中iPhone 15 Pro以上系列搭載的A17 Pro處理器由台積電3奈米工藝代工製造,成為全球首款量產的3奈米工藝處理器晶片。

3奈米的繼承者為2奈米。

參考資料

  1. ^ High-NA EUV是什麼?新一代極紫外光EUV,為何台積電、英特爾都想要?. www.bnext.com.tw. [2024-09-15] (中文(臺灣)). 
  2. ^ IRDS international roadmap for devices and systems 2017 edition (PDF). (原始内容 (PDF)存档于2018-10-25). 
  3. ^ 3 奈米製程,可能是終極技術. [2019-02-09]. (原始内容存档于2019-12-03). 
  4. ^ Atkinson. 台積電 3 奈米製程電晶體數約 2.5 億個,2022 下半年量產. 科技新報. TechNews. 2020-04-20 [2020-05-16]. (原始内容存档于2020-10-04) (中文(臺灣)). 
  5. ^ Vanessa. INTEL 10nm還沒量產 SAMSUNG 3nm就要來了. XFastest News. [2019-07-11]. (原始内容存档于2019-07-11) (中文(臺灣)). 
  6. ^ 凌郁涵. 三星3奈米明年量產告吹?疫情衝擊恐再延一年. 鉅亨網. 2020-04-07 [2020-05-16]. (原始内容存档于2020-09-27) (中文(臺灣)). 
  7. ^ 處理器 - Intel 新線路圖兩年升級一次製程, 2029年迎來1.4nm. 滄者極限. [2019-12-12]. (原始内容存档于2019-12-12) (中文(臺灣)). 
  8. ^ 搶先台積電 三星全球首款3奈米晶片亮相. 自由時報. 2022-07-25 [2022-07-27]. (原始内容存档于2022-07-29) (中文(臺灣)). 
先前
5纳米制程
半导体器件制造制程 其後
2納米制程