靜電透鏡

靜電透鏡(electrostatic lens)是一種引導帶電粒子的裝置,靜電透鏡可以類似光學透鏡使帶電粒子聚焦。用在引導電子電子透鏡(electron lens),而用在引導離子則稱離子透鏡(ion lens)。

種類

底下列出幾種靜電透鏡:

應用

電子透鏡可用在聚焦電子束源、電子顯微鏡、電子能譜學(例如,X射線光電子能譜學俄歇電子能譜學)與電子束曝光等;離子透鏡可應用在聚焦離子束源、用在質譜電漿的操作。