离子注入是一种将特定离子在电场里加速，然后嵌入到另一固体材料之中的技术手段。使用这个技术可以改变固体材料的物理化学性质，现在已经广泛应用于半导体器件制造和某些材料科学研究。离子注入可以导致核转换，或改变某些固体材料的晶体结构。
| “离子注入”的各地常用名称 |
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| 中国大陆 | 离子注入 |
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| 台湾 | 离子布植[1]、离子植入[2] |
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| 港澳 | 离子注入[3] |
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一离子注入系统
参见
参考文献
外部链接
- 李佳翰. 離子植入. 科技网. 2015-05-07 [2023-12-25]. （原始内容存档于2023-12-26） （中文）.
- 第八章 離子佈植 (PDF). 国立台湾大学化学工程学系能源材料实验室. [2023-12-25]. （原始内容 (PDF)存档于2016-05-27） （中文（台湾））.
