真空回流爐

真空回流爐，也叫真空焊接爐。在真空的環境下對產品進行高質量的焊接，在升溫或者降溫過程中通入還原性系統（N₂、甲酸、N₂H₂、H₂），用以保護產品和焊料不被氧化，同時將產品和焊料表面的氧化物反應，使得焊接表面質量提高，減小了焊接的空洞率。　

真空回流爐包括以下幾個結構：氣路、冷卻系統、加熱系統、真空系統、測量系統：　　

氣路：N₂有三路：一路通到工藝腔體；一路作為氣冷通入冷卻管（和水冷一個管道）；一路通到真空泵gas ballast，作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路，通到腔體內。H2Ar有一路，通道腔體內。　　
冷卻系統：分為內循環和外循環內循環：設備內部有個水箱，內裝有DI water，通過水泵將水箱裏面誰進行循環，用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環：客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。　　
加熱系統：包括主加熱和邊緣加熱。
真空系統：真空泵抽真空流程：將腔體內部氣體——主閥——真空泵——管道（通過加熱絲）——排風裏面。真空部分有個過壓閥，腔體壓力過大時會自動打開。　　
測量系統：除了控制加熱的TC之外，設備腔體內部還有6組用於測量工件溫度的TC。便於實驗所需要。