氟甲烷
氟甲烷，也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化学式为CH3F，在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中，在射频场下氟甲烷会溶解氟离子，可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜，即反应离子刻蚀。
| 氟甲烷 | |||
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| IUPAC名 Fluoromethane | |||
| 别名 | 甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R-41 | ||
| 识别 | |||
| 缩写 | R41 | ||
| CAS号 | 593-53-3  558-21-4（2H3）  20666-44-8（13C）
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| PubChem | 11638（2H3） 450707（11C） 12336970（13C） 9833918（17F） 450725（18F） 11638 | ||
| ChemSpider | 11148 (2H3), 396977 (11C), 21170290 (13C), 8009639 (17F), 396995 (18F), 11148 | ||
| SMILES |
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| InChI |
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| InChIKey | NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYAF | ||
| Beilstein | 1730725 | ||
| Gmelin | 391 | ||
| UN编号 | UN 2454 | ||
| EINECS | 209-796-6 | ||
| ChEBI | 28826 | ||
| KEGG | C11147 | ||
| MeSH | Fluoromethane | ||
| 性质 | |||
| 化学式 | CH3F | ||
| 摩尔质量 | 34.03 g·mol⁻¹ | ||
| 外观 | 无色无味气体 | ||
| 密度 | 0.5786 kg/m3(20°C) 0.557 g/cm3(25°C气体，饱和蒸气压) | ||
| 熔点 | -141.8 °C(131.4 K) | ||
| 沸点 | -78.2 °C(195.0 K) | ||
| 溶解性（水） | 1.66 l/kg (2.295 g/l) | ||
| 蒸气压 | 3.3 MPa at 20 °C | ||
| 结构 | |||
| 分子构型 | 四面体 | ||
| 危险性 | |||
欧盟危险性符号 极易燃 F+ | |||
| 警示术语 | R：R12 | ||
| 安全术语 | S：S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60 | ||
| NFPA 704 |
 4
1
0
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| 相关物质 | |||
| 相关化学品 | 氯甲烷、溴甲烷、碘甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳 | ||
| 若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。 | |||
性质
在氟甲烷中，C-F键的键能为552 kJ/mol，其键长为0.139 nm(典型的C-F键键长为0.14 nm)。分子构型为四面体。
氟甲烷25度时的比热Cp为38.171 J.mol−1.K−1。临界点为44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。