Mini-ITX
Mini-ITX最初是由威盛电子于2001年推出的主板规格[1] 。 Mini-ITX主板相容于Micro ATX或ATX机箱，尺寸为17 x 17厘米，只有一条扩充插槽。由于扩充性不大，Mini-ITX主要用于嵌入式系统（Embedded system）、准系统及HTPC等而非普通主机。
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| 规格 | 尺寸 (mm) |
|---|---|
| WTX | 356×425 |
| AT | 350×305 |
| Baby-AT | 330×216 |
| BTX | 325×266 |
| ATX | 305×244 |
| EATX | 305×330 |
| LPX | 330×229 |
| NLX | 254×228 |
| microATX | 244×244 |
| DTX | 244×203 |
| FlexATX | 229×191 |
| Mini-DTX | 203×170 |
| EBX | 203×146 |
| Mini-ITX | 170×170 |
| EPIC | 165×115 |
| ESM | 149×71 |
| Nano-ITX | 120×120 |
| COM Express | 125×95 |
| ESMexpress | 125×95 |
| ETX / XTX | 114×95 |
| Pico-ITX | 100×72 |
| PC/104 | 96×90 |
| mobile-ITX | 75×45 |
| Ultra ATX | ?×244 |
英特尔亦有推出使用Mini-ITX规格的桌面系统主板D201GLY，尺寸为6.75吋 x 6.75吋（171.45毫米 x 171.45毫米），但在网页上标示为“uATX”而非Mini-ITX。不少主板大厂也推出内建VIA C7、Intel Atom、Intel Celeron、Intel Pentium等CPU的主板，以及未内建CPU的ITX主板。
Thin Mini-ITX
Thin Mini-ITX（薄身 Mini-ITX）将高度由44mm减低至25mm[2]，以配合更轻薄的电脑机身；为配合尺寸，CPU散热器需要降低高度。
ATX
ITX的安装接点（螺丝）是ATX的其中四点，扩充插槽位置相等于ATX的第1条扩充插槽。
上图的ATX主板只有6条扩充槽，取消最近CPU的第1条。mATX则有完整的4条扩充插槽。