Mini-ITX
Mini-ITX最初是由威盛電子於2001年推出的主機板規格[1] 。 Mini-ITX主機板相容於Micro ATX或ATX機箱，尺寸為17 x 17厘米，只有一條擴充插槽。由於擴充性不大，Mini-ITX主要用於嵌入式系統（Embedded system）、準系統及HTPC等而非普通主機。
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| 規格 | 尺寸 (mm) |
|---|---|
| WTX | 356×425 |
| AT | 350×305 |
| Baby-AT | 330×216 |
| BTX | 325×266 |
| ATX | 305×244 |
| EATX | 305×330 |
| LPX | 330×229 |
| NLX | 254×228 |
| microATX | 244×244 |
| DTX | 244×203 |
| FlexATX | 229×191 |
| Mini-DTX | 203×170 |
| EBX | 203×146 |
| Mini-ITX | 170×170 |
| EPIC | 165×115 |
| ESM | 149×71 |
| Nano-ITX | 120×120 |
| COM Express | 125×95 |
| ESMexpress | 125×95 |
| ETX / XTX | 114×95 |
| Pico-ITX | 100×72 |
| PC/104 | 96×90 |
| mobile-ITX | 75×45 |
| Ultra ATX | ?×244 |
英特爾亦有推出使用Mini-ITX規格的桌面系統主機板D201GLY，尺寸為6.75吋 x 6.75吋（171.45毫米 x 171.45毫米），但在網頁上標示為「uATX」而非Mini-ITX。不少主機板大廠也推出內建VIA C7、Intel Atom、Intel Celeron、Intel Pentium等CPU的主機板，以及未內建CPU的ITX主機板。
Thin Mini-ITX
Thin Mini-ITX（薄身 Mini-ITX）將高度由44mm減低至25mm[2]，以配合更輕薄的電腦機身；為配合尺寸，CPU散熱器需要降低高度。
ATX
ITX的安裝接點（螺絲）是ATX的其中四點，擴充插槽位置相等於ATX的第1條擴充插槽。
上圖的ATX主機板只有6條擴充槽，取消最近CPU的第1條。mATX則有完整的4條擴充插槽。