国际半导体技术发展蓝图

国际半导体技术发展路线图（International Technology Roadmap for Semiconductors，缩写为 ITRS），是由世界上五个主要的半导体制造国家的相关协会所资助的组织，这些组织包括台湾、韩国、日本、美国和欧洲的半导体行业协会。 许多半导体产业专家组成工作小组每年进行数次讨论，并提出一些报告与文档，以期集成电路与其应用的相关产业能更有成本效益的健全发展。

该路线图文件含有免责声明：“ITRS的设计仅用于技术评估，并不考虑与单个产品或设备有关的任何商业应用”。

这些文件代表了以下技术领域对未来约15年的研究方向和时间表的最佳意见：

• 系统驱动程序/设计
• 测试设备
• 前段工艺
• 流程集成，设备和结构
• 射频和模拟/混合信号技术
• 微机电系统 (MEMS)
• 光刻
• IC互连
• 工厂整合
• 组装与包装
• 环境，安全与健康
• 可制造性设计
• 计量学
• 建模和模拟
• 新兴研究设备
• 新兴研究资料

截至2017年，国际半导体技术发展蓝图(ITRS)不再更新。它的继任者是国际设备和系统路线图(IRDS)，从而全面地反应各种系统级新技术。

Half-shrink

主节点	半节点
250 nm	220 nm
180 nm	150 nm
130 nm	110 nm
90 nm	80 nm
65 nm	55 nm
45 nm	40 nm
32 nm	28 nm
22 nm	20 nm
14 nm	16 nm
10 nm	11 nm

历史

制造集成电路或任何半导体器件都需要一系列操作-光刻、刻蚀、CVD等。随着行业的发展，每一个步骤通常都是由各个公司制造的专用机器执行的。这种专业化可能使该行业难以发展，因为如果所需的步骤无法在同时完成，则不利于一家公司推出新产品。技术路线图可以通过在需要某种功能时给出一个想法来帮助实现此一目标。然后，每个供应商都可以为他们的难题指定这个日期。

随着生产制造工具逐渐外包专用设备供应商，出现了明确的路线图，以预测市场的发展来计划和控制IC生产的技术需求。几年来，半导体工业协会（SIA）将此协调职责赋予了美国，这导致了美国风格路线图的制定，即国家半导体技术路线图（NTRS）。

另见

• 技术路线
• 摩尔定律
• 半导体工艺
• 准分子激光

外部链接

• ITRS 2.0 主页（页面存档备份，存于互联网档案馆）
• ITRS 主页